威爾粗糙度儀的測(cè)量方法主要分為接觸式粗糙度儀測(cè)量和非接觸式粗糙度儀測(cè)量。這兩種方法都可以提供表面粗糙度的數(shù)值和圖像表示。
一、接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x：
接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x是通過(guò)機(jī)械探針與被測(cè)物體表面接觸來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。當(dāng)機(jī)械探針接觸到被測(cè)表面時(shí)，測(cè)量系統(tǒng)會(huì)記錄下機(jī)械探針的運(yùn)動(dòng)軌跡和力的變化。通過(guò)測(cè)量探針在表面上的運(yùn)動(dòng)和受到的力的變化，可以計(jì)算出表面的形貌參數(shù)。測(cè)量原理中的關(guān)鍵是探針與被測(cè)表面的接觸和運(yùn)動(dòng)，因此需要保證探針的穩(wěn)定性和精確性。
優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備成本相對(duì)較低。
缺點(diǎn)：探針維修和更換的成本高；測(cè)量速率較慢、精度較低；對(duì)測(cè)量物體有損傷；對(duì)被測(cè)材料有要求，軟質(zhì)材料、尖銳產(chǎn)品難以測(cè)量。
二、非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x：
非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x一般采用光學(xué)的原理。比如：白光干涉儀利用光干涉的原理，獲取物體表面信息，是一種精密測(cè)量?jī)x器，能對(duì)物體的表面粗糙度進(jìn)行高精度測(cè)量。以壓電陶瓷器件驅(qū)動(dòng)的白光干涉儀的測(cè)量精度很高，精度可以達(dá)到亞納米級(jí)別。以大量程、高精度的高速壓電陶瓷單元驅(qū)動(dòng)的白光干涉儀精度高達(dá)0.03nm，掃描速度高達(dá)400μm/s。它應(yīng)用的行業(yè)很廣泛，可應(yīng)用于新能源、半導(dǎo)體、精密加工、精密光學(xué)、航空航天、6C產(chǎn)品、材料、液晶等領(lǐng)域。
