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威爾輪廓儀采用自主研發(fā)的高精度測量儀器，采用直角坐標測量法，通過X軸、Z軸傳感器測繪零件表面輪廓坐標點，并將數(shù)據(jù)傳輸至PC機進行數(shù)學處理，實現(xiàn)表面形貌的數(shù)字化分析。 ?威爾輪廓儀在半導體行業(yè)主要應用于：

1、晶圓檢測：測量CMP工藝后的表面平整度（TTV＜1μm）

2、光刻膠形貌：監(jiān)控膠厚均勻性（測量范圍0.5-100μm）

3、MEMS器件：測量微結構臺階高度（如加速度計懸臂梁）