本儀器具備CNC測(cè)量功能同批次工件可進(jìn)行批量測(cè)量。
本儀器采用非接觸式傳感器，線性好，精度高。
本儀器具備CNC測(cè)量功能同批次工件可進(jìn)行批量測(cè)量。
本儀器采用非接觸式傳感器，線性好，精度高。
可評(píng)價(jià)粗糙度、波紋度、輪廓度等數(shù)百項(xiàng)參數(shù)。
軟件可顯示R曲線、W曲線、P曲線。
X方向測(cè)量：350mm
X方向分辨率：0.1μm
傳感器量程：200μm
傳感器分辨率：0.008μm
Z方向立柱移動(dòng)范圍：100mm
Y方向移動(dòng)范圍：350mm
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) | |
| 技術(shù)參數(shù) | 線性精度 | ≤±(5nm+2.8%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
| 重復(fù)性 | ±5% | |
| 截止波長(zhǎng) | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評(píng)定長(zhǎng)度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
| 運(yùn)動(dòng)控制 | X軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) |
| Z軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) | |
| Y軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) | |
| X軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.05~15mm/s | |
| Z軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.2-15mm/s | |
| Y軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.05~15mm/s | |
